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產(chǎn)品資料

單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái)

產(chǎn)品名稱(chēng): 單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào): MT105
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái) 壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng),精度高,可組合使用,可適用于真空無(wú)磁的環(huán)境。適用于學(xué)校、研究所等科研單位。


單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái)  的詳細(xì)介紹
單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái) MT105-LM 規(guī)格指標(biāo):


KDT105-LM

 

MT105-30-LM

MT105-50-LM

應(yīng)用

 

精密平臺(tái)

精密平臺(tái)

行程

[mm]

30

50

重現(xiàn)性

[µm]

+/- 2

+/- 2

垂直度/平面度(全行程)

[µm]

+/- 1

+/- 1

分辨率

[µm]

0.10.05、0.02

0.1、0.05、0.02

*大速度

[mm/s]

200

200

*大加速度

[m/s2]

10

10

負(fù)載 Fx

[N]

10

10

負(fù)載 Fy

[N]

10

10

負(fù)載 Fz

[N]

50

50

扭矩負(fù)載 Mx

[Nm]

1

2

扭矩負(fù)載 My

[Nm]

1

1

扭矩負(fù)載 Mz

[Nm]

0.5

0.5

精度

[µm]

1

1

重量

[kg]

1.1

1


單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái) MT105-LM 控制部件:

 
 控制軟件(可以根據(jù)客戶(hù)要求定制)



控制箱

控制器:Galil DMC-2143-DC24 四軸 Ethernet總線 專(zhuān)用控制器。
驅(qū)動(dòng)器:Nanomotion AB1A-2a-HR-E4 壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器。
電機(jī):Nanomotion HR4-1-S-3 壓電陶瓷馬達(dá)。
光柵尺:RSF MS14系列開(kāi)放式光柵尺。

單軸壓電陶瓷馬達(dá)驅(qū)動(dòng)精密平臺(tái) MT105-LM 機(jī)械尺寸:

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